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电容式压力传感器的工作原
来源:赛斯维传感器网 发表于 2013/10/15

  科学技术的不断发展,极大地丰富了压力测量产品的种类,现在,压力传感器依据工作原理的不同,有电容式压力传感器、压阻式压力传感器、金属应变式压力传感器、霍尔式压力传感器、振筒式压力传感器等种类,而其中电容式、压阻式和金属应变式传感器是最为多见的。

  金属应变式压力传感器是一种历史较长的压力传感器,但由于它存在迟滞、蠕变及温度性能差等缺点,其应用场合受到了很大的限制。

  压阻式传感器是利用半导体压阻效应制造的一种新型的传感器,它具有制造方便,成本低廉等特点,但由于半导体材料对温度极为敏感,所以其性能受温度影响较大,产品的一致性较差。

  电容式传感器是应用最广泛的一种压力传感器,其原理十分简单。一个无限大平行平板电容器的电容值可表示为:

  C= ε s/d(ε 为平行平板间介质的介电常数,d 为极板的间距, s 为极板的覆盖面积)

  改变其中某个参数,即可改变电容量。由于结构简单,几乎所有电容式压力传感器均采用改变间隙的方法来获得可变电容。电容式传感器的初始电容值较小,一般为几十皮法,它极易受到导线电容和电路的分布电容的影响。

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