当前位置:首页 >> 技术文摘 >> 详细内容
- 电容式压力传感器的工作原
- 来源:赛斯维传感器网 发表于 2013/10/15
科学技术的不断发展,极大地丰富了压力测量产品的种类,现在,压力传感器依据工作原理的不同,有电容式压力传感器、压阻式压力传感器、金属应变式压力传感器、霍尔式压力传感器、振筒式压力传感器等种类,而其中电容式、压阻式和金属应变式传感器是最为多见的。
金属应变式压力传感器是一种历史较长的压力传感器,但由于它存在迟滞、蠕变及温度性能差等缺点,其应用场合受到了很大的限制。
压阻式传感器是利用半导体压阻效应制造的一种新型的传感器,它具有制造方便,成本低廉等特点,但由于半导体材料对温度极为敏感,所以其性能受温度影响较大,产品的一致性较差。
电容式传感器是应用最广泛的一种压力传感器,其原理十分简单。一个无限大平行平板电容器的电容值可表示为:
C= ε s/d(ε 为平行平板间介质的介电常数,d 为极板的间距, s 为极板的覆盖面积)
改变其中某个参数,即可改变电容量。由于结构简单,几乎所有电容式压力传感器均采用改变间隙的方法来获得可变电容。电容式传感器的初始电容值较小,一般为几十皮法,它极易受到导线电容和电路的分布电容的影响。
转载请注明来源:赛斯维传感器网(www.sensorway.cn)
- 如果本文收录的图片文字侵犯了您的权益,请及时与我们联系,我们将在24内核实删除,谢谢!
技术文摘