近日，微电子所新技术开发部微系统技术实验室焦斌斌研究员团队的“紧凑型数字电容式MEMS三轴一体加速度传感器关键技术及产业化”项目，在中国仪器仪表学会2022年度项目评选中荣获“科技进步一等奖”。

　　自2011年起，焦斌斌团队与西安交通大学、苏州明皜传感科技有限公司合作开展MEMS三轴一体加速度传感器的关键技术及产业化工作，开发了多项MEMS关键工艺，设计了全套MEMS工艺监测方法与图形体系，保证了MEMS芯片的高良率（＞98%）生产。专家组一致认为，该成果技术复杂、创新性强、工艺难度大，核心制造工艺与质量监控方法具有自主知识产权，其中铝锗共晶键合颗粒溢出检测、微小腔体气密性检测等在线工艺质量监控技术达国际水平。

　　基于该技术的相应产品性能达博世、ST等国际龙头企业对应型号水平，获得业内众多行业龙头标杆客户认可，不仅批量应用于荣耀、小米、传音等国内一线品牌的电子产品，还进入美国谷歌、韩国三星等国际知名企业。目前，该加速度传感器产品市场占有率位居国内市场前三、全球市场前五，正逐渐改变微型三轴加速度传感器的国际市场格局。