科技日报消息，东京工业大学校长益一哉等人与NTT尖端技术公司利用包含多个金属层的积层金属结构，成功开发出具有超低噪声和超高灵敏度的MEMS（微机电系统）加速度传感器，与以往相同尺寸的传感器相比，灵敏度提高百倍以上，噪声降至十分之一以下。这一创新技术实现其通用化，可用于医疗保健、基础设施诊断、移动体控制、机器人(13.820, 0.15, 1.10%)应用等各种运动检测中，有助开发新的器件和系统。